陽明交大攜台積電開拓新技術 引領積體電路發展

2023-10-11

(中央社記者許秩維台北11日電)陽明交大團隊與台積電合作,引入光熱合併的方法,並結合紫外線照射和氧氣退火技術,實現超薄層半導體中閾值電壓調變的技術,引領積體電路技術的全新發展方向。

陽明交通大學電子研究所助理教授連德軒(右)和電機學院博士候選人曾柏翰(左)的研究團隊與台積電合作,實現超薄層半導體中閾值電壓調變的技術,引領積體電路技術的全新發展方向。(陽明交大提供)中央社記者許秩維傳真 112年10月11日

陽明交通大學今天發布新聞稿指出,近年來隨著半導體元件微縮,二維和準二維厚度的半導體研究持續升溫,其中透過改變材料載子濃度在超薄電晶體中調節閾值電壓,一直極具挑戰性,因為材料尺寸已接近甚至小於摻雜原子的尺寸,導致電子傳輸和控制極其困難,如何實現閾值電壓的有效調變也成為難題。

陽明交通大學電子研究所助理教授連德軒的研究團隊與台積電合作,引入光熱合併的方法,結合紫外線照射和氧氣退火,成功實現在超薄氧化銦電晶體中大範圍及大面積的閾值電壓調變,研究成果刊登於國際期刊「自然通訊」。

研究團隊提到,這種方法能實現正向和負向的閾值電壓調節,並且是可逆的操作方式,對下一代積體電路技術的發展提供重要方向;透過閾值電壓的可控性,研究團隊也通過自動化雷射系統(與雷傑科技合作),實現晶圓尺寸的閾值電壓調變,凸顯此方法在測試以外的的實際應用性。

--其他新聞--

更生新聞網

更生日報社股份有限公司

統編:94768687

地址:花蓮市五權街36號

電話:03-8340131